ナノ表面構造制御
半導体基板を高温ガス中でエッチングするとエネルギー的に安定なファセット構造が出現します．このファセットはオーダリングにより，ナノメートルオーダーの周期的な表面構造になります．
これをナノ表面と呼んでいます．SiCやサファイア等にみられるこの現象の物理的な解明を行っています．
SiC ナノ表面
傾斜SiC(0001)表面に現れる周期的ナノファセット構造の断面TEM像とモデル図．
高温水素エッチングを施すことによりエネルギー安定なナノ構造が現れます．
表面ナノ相分離・量子化ステップバンチング・オーダリングによる結果です．
高温水素エッチングを施すことによりエネルギー安定なナノ構造が現れます．
表面ナノ相分離・量子化ステップバンチング・オーダリングによる結果です．
- H. Nakagawa, S. Tanaka, and I. Suemune, Phys. Rev. Lett. 91, 226107 (2003).
- M. Fujii and S. Tanaka, Phys. Rev. Lett. 99, 016102 (2007)
- K. Hayashi, K. Morita, S. Mizuno, H. Tochihara, and S. Tanaka, Surf. Sci. 603, 566 (2009).